无论是石英晶振还是MEMS振荡器，其输出频率都会随环境温度而发生变化。其变化量对于测量频率稳定度和精度来说，是一个至关重要的指标。MEMS振荡器的频率稳定度级别取决于频率随温度变化程度，工作电压，制造工艺和焊接的可靠性。

32kHz振荡器频率稳定度

SiTime公司推出的革命性TempFlat™ MEMS 32kHz振荡器的频率稳定度是石英晶振的两倍。下图中蓝线代表SiTime基于MEMS的32kHz晶振的频率变化，红线代表32kHz石英晶振的频率变化。在室温25℃下，SiTime的32kHz晶振稳定在10PPM以内，而石英晶振在20PPM内变化。在整个温度范围内，MEMS振荡器展现出<75—100PPM的稳定性，相比之下石英晶振的频率只是-160—-200 PPM的稳定度。

增加温度补偿电路后，SiTime的32kHz温补振荡器在以下温度范围内频率稳定度能够达到±5PPM。采用MEMS振荡器解决方案来实现温补振荡器级别的频率稳定度，与石英晶振解决方案相比，能耗可减少50%，体积可缩小80%。

MHz振荡器频率稳定度

下图为标准AT切型石英晶振和SiTime独有的MEMS振荡器的频率稳定度对比图。由于SiTime的MEMS振荡器拥有业界领先的温度补偿技术，因此在整个工业温度范围内频率稳定度显示平稳，范围之外还有足够的余量，能够满足高性能领域的应用。

如下图所示，SiTime提供的XO振荡器频率稳定度达10PPM，这是石英晶振永远无法企及的精度。事实上，在频率大于70MHz的MHz晶振中，采用SiTime全硅振荡器的XOs振荡器的频率稳定度已能够达到10-25PPM，这一点上远远超过石英晶振、SAW及overtone等其他解决方案，这是SiTime在MEMS振荡器上的又一项时代创新。

如下图所示，当频率稳定度都界定为25PPM时，SiTime提供的MEMS单端振荡器与石英单端晶振相比，在整个工业温度范围内表现更为稳定。